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您當(dāng)前的位置：首頁(yè)產(chǎn)品中心ALICAT 氣體質(zhì)量流量控制器 21系列
滿量程0.5 SCCM - 10000 SLPM，優(yōu)于1 %的精度，量程可控
ALICAT 21系列標(biāo)準(zhǔn)型質(zhì)量流量控制器，采用內(nèi)部補(bǔ)償型層流壓差技術(shù)，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運(yùn)動(dòng)。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補(bǔ)償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異，并對(duì)用戶標(biāo)準(zhǔn)工況進(jìn)行修正。具有NIST可溯源校準(zhǔn)證書。
可用于快速準(zhǔn)確地測(cè)量并控制過程氣體的質(zhì)量流量、體積流量、壓力，并顯示氣體溫度，適用于多種流量測(cè)控場(chǎng)合。設(shè)備采用快速穩(wěn)定的優(yōu)質(zhì)電磁閥以及優(yōu)化的PID調(diào)校，可達(dá)到優(yōu)于100 ms的控制速度，并保持優(yōu)秀的穩(wěn)定性，并有超低壓損產(chǎn)品可供您選擇。
應(yīng)用及案例
● 大學(xué)/研究所 ● 環(huán)境監(jiān)測(cè)
● 真空行業(yè)及鍍膜 ● 工業(yè)爐窯
● 半 導(dǎo) 體 ● 汽車制造
● 光 伏 ● 燃料電池
● 計(jì)量校準(zhǔn) ● 過程工藝氣體測(cè)量
產(chǎn)品特色
● 數(shù)字化產(chǎn)品
● 多參數(shù)顯示和輸出：溫度、壓力、流量等
● 多參數(shù)控制，如體積流量、質(zhì)量流量和壓力
● 標(biāo)配三種控制方式：數(shù)字、模擬和本地面板
● 可選高精度：優(yōu)于0.5%讀數(shù)
● 量程可控比寬，0.01~100%滿量程
● 響應(yīng)時(shí)間快，優(yōu)于30 ms
● 內(nèi)置98種氣體
● 可現(xiàn)場(chǎng)編輯混合氣體（最多5種成分），并最多存儲(chǔ)20種混合氣
滿量程為0.5 SCCM -10000 SLPM，
其中10 SCCM - 20 SLPM量程段，下述指標(biāo)升級(jí)：
質(zhì)量流量普通精度 ± 0.6% 讀數(shù)或± 0.1% 滿量程（取最大值）
質(zhì)量流量高精度 ± 0.5% 讀數(shù)或± 0.1% 滿量程（取最大值）
重復(fù)性 ±（0.1% 讀數(shù) + 0.02% 滿量程）
質(zhì)量流量零點(diǎn)漂移 ± 0.01%滿量程/ ℃（從清零溫度開始）
± 0.01%滿量程/ Atm（從清零壓力開始）
質(zhì)量流量量程漂移 ± 0.01%讀數(shù)/ ℃（從25℃開始）
± 0.1 %讀數(shù)/ Atm（從校準(zhǔn)壓力開始）
介質(zhì)要求 非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體
介質(zhì)種類 內(nèi)置了98種氣體，用戶可現(xiàn)場(chǎng)編輯混合氣體 （最多5種成分），并最多存儲(chǔ)20種混合氣
量 程 從0-0.5 SCCM 到 0-10000 SLPM
量程可控比（穩(wěn)態(tài)） 0.01～100%滿量程（R和RH閥門為0.2-100%滿量程）
顯 示 屏 標(biāo)準(zhǔn)為L(zhǎng)CD單色顯示屏（帶背光），可選TFT彩色顯示屏
顯示方式 同時(shí)顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度
精 度 ±（0.8 %讀數(shù) + 0.2 %滿量程）精度升級(jí)部分見左下角
±（0.4 %讀數(shù) + 0.2 %滿量程）（量程5CCM和50-500SLPM可選）
累計(jì)流量精度 流量精度之外增加±0.5%讀數(shù)的額外誤差
重 復(fù) 性 ±（0.2% 讀數(shù) + 0.02% 滿量程）
質(zhì)量流量溫度零點(diǎn)和滿量程漂移 0.02%滿量程/ ℃（從25℃開始）
質(zhì)量流量壓力零點(diǎn)和滿量程漂移 ±（0.08 % 讀數(shù) + 0.02 % 滿量程）/ Atm（從校準(zhǔn)壓力開始）
控制響應(yīng)時(shí)間(T63) ＜100ms（與流量相關(guān)，用戶可調(diào)）
顯示響應(yīng)時(shí)間 ＜10ms（與流量相關(guān)）
預(yù)熱時(shí)間 ＜1s
工作溫度 ± 0.75℃
工作濕度 0 ～ 95 %，無(wú)冷凝
工作壓力 11.5-160PSIA
壓力精度 ±0.5%讀數(shù)（＞1Atm），或±0.07PSIA（＜1Atm）
耐 壓 200PSIA（靜壓）；75PSID（進(jìn)出口差壓）
滿量程壓損 參考詳細(xì)壓損表
數(shù)字輸入/輸出信號(hào) RS232/RS485串口和Modbus RTU（默認(rèn)）；可選Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus、Profinet
模擬輸入/輸出信號(hào) 0-5Vdc（默認(rèn)）；可選1-5Vdc，0-10Vdc或4-20mA
模擬信號(hào)精度 在基礎(chǔ)誤差上額外增加±0.1%滿量程的誤差
數(shù)據(jù)刷新頻率 數(shù)字信號(hào)40Hz@19200波特率；
模擬信號(hào)：1000Hz
屏幕刷新頻率 10Hz
供電電壓 12-24 VDC （與量程相關(guān)，詳情咨詢）
供電電流 250 mA，0.5A，1 A，2 A（與量程相關(guān)，詳情咨詢）
額外加 40 mA（4 - 20 mA或0-10Vdc輸出）
電氣接口 DB9M(默認(rèn))，可選DB9、DB15、6針工業(yè)接口、8針M12、8針Mini-DIN等
泄漏率（外漏） 選擇HLC選項(xiàng)，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He
材 質(zhì) 主體材質(zhì)：302,303,304,316LSS；
P和PCV閥門材質(zhì)：430FRSS和黃銅；
R閥門材質(zhì)：410SS，Nylon和Derlin；
密封材質(zhì)FKM；
傳感器材質(zhì)請(qǐng)咨詢工廠
過程接口 NPT內(nèi)螺紋（默認(rèn)），詳細(xì)規(guī)格參考?jí)簱p表；其他接口形式請(qǐng)咨詢
安裝方向 配置R閥門需閥體垂直向上安裝，其他閥門無(wú)要求。
安裝固定孔 8-32UNC螺紋，數(shù)量和孔深與量程相關(guān)，具體請(qǐng)咨詢
防護(hù)等級(jí) IP40（IP66可選）
認(rèn) 證 ISO 9001、NIST溯源認(rèn)證、CE、UKCA、RoHS、REACH聲明、防爆（可選）
標(biāo)準(zhǔn)性能
多功能數(shù)字顯示屏
顯示多種測(cè)量參數(shù)：質(zhì)量流量、體積流量、溫度和壓力
低壓損
無(wú)需預(yù)熱
Viton密封
8針mini-DIN電信號(hào)接口
標(biāo)準(zhǔn)圓形電源接口
RS-232多點(diǎn)式數(shù)字輸出
RS-232多點(diǎn)式數(shù)字輸入
0-5Vdc、0-10Vdc或1-5Vdc 多種模擬信號(hào)輸出可選
0-5Vdc、0-10Vdc、1-5Vdc或4-20mA模擬信號(hào)輸入可選
可調(diào)節(jié)PID算法
內(nèi)置30種氣體可選
200:1 量程可調(diào)比
NPT接頭
可控制從0.5SCCM到3000SLPM的滿量程的任何流量
有條件的終身質(zhì)保
可選性能
高精度
累加器
6針、DB9或DB15電信號(hào)接口
ProfiBUS數(shù)字信號(hào)輸出
RS-485數(shù)字信號(hào)輸出
4-20mA模擬信號(hào)輸出
另一種模擬信號(hào)輸出
TFT背光彩色顯示屏
遠(yuǎn)程顯示屏
遠(yuǎn)程TFT背光彩色顯示屏
丙烯酸絕緣涂層
EPDM密封
NeSSI本體
氧氣清潔
用于高溫環(huán)境的遠(yuǎn)程電子包裝
SAE接頭
VCR, VCO接頭
5VDC、12VDC、24VDC排氣量報(bào)警(過高或過低)
雙向流動(dòng)
額外標(biāo)定點(diǎn)
定制混個(gè)氣體（最多4種）
定制流量范圍
不銹鋼閥門
高流量低壓損閥門
防爆選項(xiàng)
集成式電位計(jì)控制
滿量程標(biāo)準(zhǔn)型質(zhì)量流量控制器 | 滿量程壓損（psid） 排氣到大氣中 默認(rèn)閥門配置 | 外形尺寸 | 過程接口 | 重量
|
0.5 sccm | 1.0 | 3.90''H ×3.34''W ×1.05''D | M5內(nèi)螺紋（10-32兼容） （隨貨帶Buna-N面密封轉(zhuǎn)1/8''NPT內(nèi)螺紋接頭） | |
1-5sccm | 2.0 | 1.1lb（約0.5kg） | ||
10sccm | 2.8 | |||
20-50sccm | 1.0 | |||
100 sccm - 500 sccm | 1.0 | 4.07''H ×3.59''W ×1.05''D | 1/8''NPT內(nèi)螺紋 | 1.2lb（約0.5kg） |
1 slpm | 1.5 | |||
2 slpm | 3.0 | |||
5 slpm | 2.0 | |||
10 slpm | 5.5 | |||
20 slpm | 12.0 | |||
50 slpm（配置P閥門） | 5.0 | 4.37''H ×5.41''W ×1.60''D | 1/4''NPT內(nèi)螺紋 | 3.1lb（約1.4kg） |
100 slpm（配置P閥門） | 15.5 | |||
250 slpm（配置R閥門） | 2.4 | 5.50''H ×7.65''W ×2.25''D | 1/2''NPT內(nèi)螺紋 | 9.1lb（約4.1kg） |
500 slpm | 6.5 | 5.50''H ×7.28''W ×2.25''D | 3/4''NPT內(nèi)螺紋
| 9.1lb（約4.1kg） |
1000 slpm | 14.0 | |||
2000 slpm | 28.6 | 5.50''H ×8.10''W ×2.90''D | 12lb（約5.4kg） | |
3000 slpm | 16.8 | 5.50''H ×8.90''W ×2.90''D | 1-1/4''NPT內(nèi)螺紋 | 12lb（約5.4kg） |
5000 slpm | 14.1 | 6.27''H ×9.80''W ×3.84''D | 1-1/2''NPT內(nèi)螺紋 | 28lb（約12.7kg） |
10000 slpm | 12.0 | 6.34''H ×9.66''W ×3.84''D | 1-1/2''NPT內(nèi)螺紋 | 23lb（約10.4kg） |
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