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您當(dāng)前的位置：首頁(yè)產(chǎn)品中心ALICAT 氣體質(zhì)量流量控制器-耐腐蝕型 21S系列
量程0.5 SCCM - 10000 SLPM，優(yōu)于1 %的精度，100 ms 快速響應(yīng)
美國(guó)ALICAT 21S系列抗腐蝕型質(zhì)量流量控制器，采用內(nèi)部補(bǔ)償型層流壓差技術(shù)，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運(yùn)動(dòng)。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補(bǔ)償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異，并對(duì)用戶標(biāo)準(zhǔn)工況進(jìn)行修正。具有NIST可溯源校準(zhǔn)證書(shū)。可用于快速精確地測(cè)量并控制腐蝕性氣體（如：NH3、H2S、SiH4等）的質(zhì)量流量、體積流量、壓力，并顯示氣體溫度，適用于多種流量測(cè)控場(chǎng)合。
應(yīng)用及案例
● 大學(xué)/研究所 ● 汽車制造
● 環(huán)境監(jiān)測(cè) ● 計(jì)量校準(zhǔn)
● 真空行業(yè)及鍍膜 ● 過(guò)程工藝氣體測(cè)量
● 工業(yè)爐窯
產(chǎn)品特色
● 數(shù)字化產(chǎn)品
● 多參數(shù)顯示和輸出：溫度、壓力、流量等
● 多參數(shù)控制，如體積流量、質(zhì)量流量和壓力
● 可選高精度：優(yōu)于0.5%
l可適用于多種腐蝕性氣體
● 可現(xiàn)場(chǎng)標(biāo)定混合氣體（最多5種成分），并存儲(chǔ)20種混合氣
介質(zhì)要求 潔凈、干燥的腐蝕性和非腐蝕性氣體
介質(zhì)種類 內(nèi)置了130種氣體，用戶可現(xiàn)場(chǎng)編輯混合氣體 （最多5種成分），并最多存儲(chǔ)20種混合氣
量 程 從0-0.5 SCCM 到 0-10000 SLPM
量程可控比（穩(wěn)態(tài)）：1-100%滿量程
顯 示 屏 標(biāo)準(zhǔn)為L(zhǎng)CD單色顯示屏（帶背光），可選TFT彩色顯示屏
顯示方式 同時(shí)顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度
精 度 ±（0.8 %讀數(shù) + 0.2 %滿量程）
±（0.4 %讀數(shù) + 0.2 %滿量程）（量程5 SCCM - 500 SLPM可選）
累計(jì)流量精度 流量精度之外增加±0.5%讀數(shù)額外誤差
重 復(fù) 性 ± 0.2 %滿量程
質(zhì)量流量零點(diǎn)和滿量程溫度漂移 0.02%滿量程/℃（從25℃開(kāi)始）
質(zhì)量流量零點(diǎn)和滿量程壓力漂移 ±(0.08% 讀數(shù)+ 0.02% 滿量程)（從校準(zhǔn)壓力開(kāi)始）
控制響應(yīng)時(shí)間(T63) 30-4000ms（與流量相關(guān)，用戶可調(diào)）
顯示響應(yīng)時(shí)間： 10-4000ms（與流量相關(guān)，用戶可調(diào)）
預(yù)熱時(shí)間 ＜ 1 s
工作溫度 -10 ~ 60 ℃（環(huán)境和氣體）（可選高溫選項(xiàng)，氣體100℃，環(huán)境85℃）
溫度精度 ± 0.75℃
工作濕度 0 ～ 95 %，無(wú)冷凝
工作壓力 11.5-160PSIA
壓力精度 ±0.5%滿量程
耐壓 200PSIA（靜壓）；75PSID（進(jìn)出口差壓）
滿量程壓損 參考詳細(xì)壓損表
數(shù)字輸入/輸出信號(hào) RS232/RS485串口和Modbus RTU（默認(rèn)）；可選Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus、Profinet
模擬輸入/輸出信號(hào) 0-5Vdc（默認(rèn)）；可選1-5Vdc，0-10Vdc或4-20mA
數(shù)據(jù)刷新頻率 數(shù)字信號(hào)40 Hz@19200波特率；
模擬信號(hào)：1000 Hz
屏幕刷新頻率 10 Hz
模擬信號(hào)精度 在基礎(chǔ)誤差上額外增加±0.1%滿量程誤差
供電電壓 12-30 VDC （與量程相關(guān)）
供電電流 250 mA，1 A，2 A（與量程相關(guān)，詳情咨詢）
額外加 40 mA（ 4–20 mA輸出 ）
電氣接口 DB9M(默認(rèn))，可選DB9、DB15、6針工業(yè)接口、8針M12、8針Mini-DIN等
泄漏率（外漏） 選擇HLC選項(xiàng)，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He
材 質(zhì) 主體和傳感器材質(zhì)：316L和303SS
PCV閥門材質(zhì)：430FRSS
R閥門材質(zhì)：410SS
密封材質(zhì)：FFKM（默認(rèn)），可根據(jù)特殊氣體選用FKM或EPDM
過(guò)程接口 NPT內(nèi)螺紋（默認(rèn)），詳細(xì)規(guī)格參考?jí)簱p表；其他接口形式請(qǐng)咨詢
安裝方向 建議與地面垂直安裝
安裝固定孔 8-32UNC螺紋，數(shù)量和孔深與量程相關(guān)，具體請(qǐng)咨詢
防護(hù)等級(jí) IP40（可選IP66）
認(rèn) 證 ISO 9001、NIST溯源認(rèn)證、CE、UKCA、RoHS、REACH聲明、防爆 （可選）
待更新。
滿量程耐腐蝕質(zhì)量流量控制器 | 滿量程壓損（psid） 排氣到大氣中 默認(rèn)閥門配置 | 外形尺寸 | 過(guò)程接口 | 重量 |
0.5sccm | 1.0 | 4.40''H ×3.34''W ×1.05''D | M5內(nèi)螺紋（10-32兼容） （隨貨帶FFKM面密封轉(zhuǎn)1/8''NPT內(nèi)螺紋接頭） | |
1-5sccm | 2.0 | 1.1lb（約0.5kg） | ||
10sccm | 2.8 | |||
50sccm | 1.0 | |||
100-500 sccm | 1.0 | 4.57''H ×3.59''W ×1.05''D | 1/8''NPT內(nèi)螺紋 | |
1slpm | 1.5 | 1.2lb（約0.5kg） | ||
2slpm | 3.0 | |||
5slpm | 2.0 | |||
10slpm | 5.5 | |||
20slpm | 20.0 | |||
50-100slpm（配置R閥門） | 2.5 | 5.69''H ×7.65''W ×2.25''D | 1/4''NPT內(nèi)螺紋 | 9.0lb（約4.1kg） |
250 slpm | 2.4 | 5.99''H ×7.65''W ×2.25''D | 1/2''NPT內(nèi)螺紋 | 9.0lb（約4.1kg） |
500 slpm | 6.5 | 5.99''H ×7.28''W ×2.25''D | 3/4''NPT內(nèi)螺紋
| 9.0lb（約4.1kg）
|
1000 slpm | 14.0 | |||
2000 slpm | 28.6 | 5.99''H ×8.10''W ×2.90''D | 3/4''NPT內(nèi)螺紋 | 12lb（約5.4kg）
|
3000 slpm | 16.8 | 5.99''H ×8.10''W ×2.90''D | 1-1/4''NPT內(nèi)螺紋 | 12lb（約5.4kg）
|
5000 slpm | 14.1 | 7.08''H ×10.00''W ×4.50''D | 1-1/2''NPT內(nèi)螺紋 | 28lb（約12.7kg）
|
10000 slpm | 12.0 | 9.66''H ×9.66''W ×6.33''D | 1-1/2''NPT內(nèi)螺紋 | 23lb（約10.4kg） |
見(jiàn)“尺寸壓損”。
* 混合氣體編碼為“800”，選項(xiàng)中須有具體混合氣體比例說(shuō)明。
* 對(duì)于液體流量計(jì)和控制器，液體指純水，液體編碼為“900”。
* ALICAT非抗腐蝕流量計(jì)/控制器產(chǎn)品，可支持①類氣體。
* ALICAT抗腐蝕流量控制器產(chǎn)品，可支持①、②類氣體。
* ALICAT抗腐蝕流量計(jì)產(chǎn)品，可支持①、②、③類氣體。
* 未在表中列出的氣體，也可能被測(cè)控，具體請(qǐng)咨詢我們。
品種齊全，上萬(wàn)種儀表
國(guó)外直銷， 原裝進(jìn)口
誠(chéng)信服務(wù)，售后保證
