產品中心
Product Center
滿量程10 SCCM - 10000 SLPM，測量范圍廣，優(yōu)于10 ms響應時間，高壓應用實時多元流量測量
這款多功能20Q系列高壓氣體質量流量計可縮短檢定或驗證高壓（160-320 psia）條件下運行流量所需時間，還能夠同時實時測量質量流量、體積流量、管線壓力和管線溫度。
應用及案例
● 大學/研究所 ● 泄漏檢測
● 環(huán)境監(jiān)測 ● 真空行業(yè)及鍍膜
● 汽車制造 ● 燃料電池
● 計量校準 ● 過程工藝氣體測量
● 工業(yè)爐窯 ● 半 導 體
● 光 伏
● 數字化產品
● 多參數顯示和輸出：溫度、壓力、流量等
● 可測范圍廣，0. 1~100%滿量程
● 響應時間快，優(yōu)于10 ms
● 內置98種氣體
● 可現場標定混合氣體（最多5種成分），并存儲20種混合氣
量程為10 SCCM - 10000 SLPM
其中10 SCCM - 20 SLPM量程段，下述指標升級：
質量流量普通精度 ± 0.6%讀數 或± 0.1%滿量程（取最大值）
測量范圍 0.1 ~ 100%滿量程
重復性 ± 0.1%滿量程
介質要求 非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體
介質種類 內置了98種氣體，用戶可現場編輯混合氣體 （最多5種成分），并最多存儲20種混合氣
量 程 從0 - 10 SCCM 到 0 - 10000 SLPM
測量范圍（量程比） 0.2% ~ 100%滿量程
顯 示 屏 標準為LCD單色顯示屏（帶背光），可選TFT彩色顯示屏
顯示方式 同時顯示質量流量、體積流量、壓力和溫度
精 度 ± 2%滿量程 精度升級部分見左下角
累計流量精度 流量精度之外增加± 0.5 %讀數額外誤差
重 復 性 ± 0.2%滿量程
質量流量零點漂移 ± 0.01%滿量程/ ℃（從25℃開始）
± 0.01%滿量程/ Atm（從清零壓力開始）
質量流量量程漂移 ± 0.01%讀 數/ ℃（從25℃開始）
± 0.1 %讀 數/ Atm（從校準壓力開始）
響應時間 ＜10 ms（與流量相關）
預熱時間 < 1 s
工作溫度 -10 ～ 60 ℃（環(huán)境和氣體）
溫度精度 ± 0.75 ℃
工作濕度 0 ~ 95% 無冷凝
工作壓力 11.5-320 PSIA
壓力精度 ± 0.5 % 讀數（讀數＞1 Atm），或 ± 0.07 PSIA（＜1Atm）
耐 壓 400PSIA（靜壓）；75PSID（進出口差壓）
滿量程壓損 參考詳細壓損表
數字輸出信號 RS232/RS485串口和Modbus RTU（默認）；可選Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus、Profinet
模擬輸出信號 0-5Vdc（默認）；可選1-5Vdc，0-10Vdc或4-20mA
數據刷新頻率 數字信號40 Hz@ 19200波特率；
模擬信號：1000 Hz
屏幕刷新頻率 10 Hz
模擬信號精度 在基礎誤差上額外增加 ± 0.1 % 滿量程誤差
供電電壓 9-24 VDC （如選4 - 20 mA或0-10VDC輸出，須為12 - 24VDC）
供電電流 40mA ，額外加 40 mA（4 - 20 mA輸出）
電氣接口 DB9M(默認)，可選DB9、DB15、6針工業(yè)接口、8針M12、8針Mini-DIN等
材 質 主體材質：302,303,304,316LSS；密封材質FKM；傳感器材質請咨詢工廠
泄漏率（外漏） 選擇HLCP選項，泄漏率可低至1 x 10-6Atm cc/s He
過程接口 NPT內螺紋（默認），詳細規(guī)格參考壓損表；其他接口形式請咨詢
安裝方向 位置不敏感
安裝固定孔 8-32UNC螺紋，數量和孔深與量程相關，具體請咨詢
防護等級 IP40（IP66可選）
認 證 ISO 9001、NIST溯源認證、CE、UKCA、RoHS、REACH聲明、防爆（可選）
（需另行訂購）
過程端口接頭和過濾器
電源
通訊線纜和轉換線纜
BB3和BB9多點式集線盒
Flow Vision軟件
MQ系列高壓氣體質量流量計（電源需另行訂購）
NIST可溯源校準證書
艾里卡特操作說明書
滿量程質量流量計 | 滿量程壓損（PSID） 排氣到大氣中 | 外觀尺寸1 | 過程連接尺寸2 |
10 SCCM ~ 50 SCCM | 1.0 | 3.9''H x 2.4''W x 1.1''D | M-5 （10-32）（內螺紋） （Buna-N表面密封至1/8''NPT內螺紋） |
100 SCCM ~ 20 SLPM | 1.0 | 4.1''H x 2.4''W x 1.1''D | 1/8'' NPT 內螺紋 |
50 SLPM | 2.0 | 4.4''H x 4.0''W x 1.6''D | 1/4'' NPT 內螺紋 |
100 SLPM | 2.5 | ||
250 SLPM | 2.1 | 5.0''H x 4.0''W x 1.6''D | 1/2'' NPT 內螺紋 |
500 SLPM | 4.0 | 5.0''H x 4.0''W x 1.6''D | 3/4'' NPT 內螺紋 |
1000 SLPM | 6.0 | ||
2000 SLPM | 5.0 | 5.3''H x 5.2''W x 2.9''D | |
3000 SLPM | 7.1 | 5.3''H x 5.2''W x 2.9''D | 1-1/4'' NPT 內螺紋 |
注1、公制數據見圖紙； 2、與Swagelok?管、Parker?、表面密封、快接接頭和卡套轉接頭相兼容，也可根據要求連接VCR和SAE。 | |||
見“尺寸壓損”。
艾里卡特20Q系列高壓氣體質量流量計適用于非腐蝕性氣體。
艾里卡特20QS系列高壓氣體質量流量計適用于腐蝕性氣體。
品種齊全，上萬種儀表
國外直銷， 原裝進口
誠信服務，售后保證
